潔凈棚定義：又稱為潔凈工作棚與凈化棚，是一種快速建立的小型簡易潔凈室。

潔凈棚等級：通常分為百級潔凈棚，千級潔凈棚，萬級潔凈棚。

潔凈棚的材料：不銹鋼方通支架，鐵方通支架，鋁型材支架，潔凈棚四周可用防靜電圍簾及有機玻璃擋板。

潔凈棚工作原理：FFU風機過濾單元經初效過濾器進行第一道過濾，再經過高效過濾器第二道過濾后,整個出風面以勻速送出到潔凈棚內，使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄鳎ＷC工作區(qū)內所要求的潔凈度。

潔凈棚的優(yōu)點：潔凈棚安裝容易，施工周期期短，同時在要求高潔凈度的地方使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄?，保證棚子內工作區(qū)所要求的潔凈度增設以降低成本。

影響潔凈棚的氣流因素：影響潔凈棚的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，應列入考慮因素。

一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

風機從FFU頂部將空氣吸入，經初效過濾器，高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔凈棚內。形成均流層，使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內所要求的潔凈度。

潔凈棚是能快速組建的簡易潔凈室,其具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點，把主要生產工序控制在較小的環(huán)境內也是潔凈室設計的最佳選擇。